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tropel flatmaster 200平坦度檢測設(shè)備

  • 更新時間:2021-01-21
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tropel flatmaster 200平坦度檢測設(shè)備
美國TROPEL FlatMaster 200平面度測量系統(tǒng)/平面度儀/平整度儀/平坦度儀基于160多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物應(yīng)用光學(xué)等材料科學(xué)和制程藝領(lǐng)域的知識,F(xiàn)lat Master平整度儀為精密部件的制造商提供了業(yè)界*先的表面形態(tài)測量。能夠?qū)Ω鞣N表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進行測量。

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tropel flatmaster 200平坦度檢測設(shè)備

 

美國康寧Corning Tropel FlatMaster 200平面度測量系統(tǒng)也稱為平面度儀、平整度儀、 平坦度儀 ,為精密部件的制造商提供了業(yè)界*先的平面度及表面形態(tài)測量。通過非接觸式光學(xué)測量技術(shù)能在很短的時間內(nèi)記錄下整個表面的數(shù)據(jù)。Flatmaster 200平面度儀提供了五種納米級的解析度和高達50納米的標準精度,能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數(shù)進行精密測量。美國TROPEL FlatMaster 200平面度測量系統(tǒng)/平面度儀/平整度儀/平坦度儀基于160多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物應(yīng)用光學(xué)等材料科學(xué)和制程藝領(lǐng)域的知識,F(xiàn)lat Master平整度儀為精密部件的制造商提供了業(yè)界*先的表面形態(tài)測量。能夠?qū)Ω鞣N表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進行測量。

 

在使用時有如下特性

測量多種不同指標:
?厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/ 壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓。
完整的分析系統(tǒng):
?三維/ 拓撲/合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度;
?實現(xiàn)自動、 快速、準確、穩(wěn)定且靈活的測量

應(yīng)用領(lǐng)域如下

?無接觸和無損傷測量
?適用多種類型材料:半導(dǎo)體,金屬,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料
?適用多種類型晶片:硅/藍寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰
?適用多種類型表面:研磨表面,拋光面,超光滑面

FLATMASTER 200平面度儀技術(shù)參數(shù)

精度50nm (2.0μ″)
重復(fù)性15 nm(0.6μ″)(1 sigma)
分辨率5nm (0.2μ″
可測量工件尺寸5mm-200mm
動態(tài)測量范圍>100um
測量數(shù)據(jù)點230,000
測量時間5秒 
電源~220V 50Hz
標準測量球面半徑.平面度、線輪廓、表面粗糙度、

 

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